Марганцевые силицидные пленки получены на кремниевых подложках методом диффузии марганца в вакуумной кварцевой ампуле при температурах 800–1300°C с последующим медленным охлаждением. Исследованы физические и структурные свойства пленок, включая фазовый состав, микроструктуру, электропроводность и термоэлектрические параметры. Пленки имеют различные фазы в зависимости от режима термообработки, обладают поликристаллической структурой и высокой проводимостью, что делает их перспективными для создания термоэлектрических генераторов и датчиков. Представлены оптимальные технологические параметры для получения пленок с заданными характеристиками.